450-6004/02 – Speciální mikroelektronické senzory (SMES)
| Garantující katedra | Katedra kybernetiky a biomedicínského inženýrství | Kredity | 10 |
| Garant předmětu | doc. Ing. Bohumil Horák, Ph.D. | Garant verze předmětu | doc. Ing. Bohumil Horák, Ph.D. |
| Úroveň studia | postgraduální | Povinnost | povinně volitelný typu B |
| Ročník | | Semestr | zimní + letní |
| | Jazyk výuky | angličtina |
| Rok zavedení | 2015/2016 | Rok zrušení | |
| Určeno pro fakulty | FEI, FS | Určeno pro typy studia | doktorské |
Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi
Cílem předmětu je seznámit studenty s bouřlivě rozvíjející se kategorií snímačů neelektrických veličin. Posluchači získají znalosti o konstrukcích a aplikacích progresivních mikroelektronických prvků, které nacházejí stále větší uplatnění v technické praxi.
Vyučovací metody
Přednášky
Individuální konzultace
Projekt
Anotace
Mikroelektronické senzory (MS) charakterizujeme jako senzory využívající jevy v polovodičích a vrstvových strukturách zhotovené mikroelektronickými technologiemi. Představují progresivní, ve světě dynamicky se rozvíjející typy senzorů, označované jako senzory vyšších generací. Tyto druhy senzorů jsou slučitelné s integrovanými obvody jak z hlediska technologického, tak i obvodového, což umožňuje plně využít možnosti poskytované mikroelektronikou (vyšší spolehlivost, nižší cena při menších rozměrech a hmotnosti, nová obvodová řešení a netradiční aplikace). Předmět je věnován oblastem základních principů, vlastnosti a konstrukce MS, výrobním postupům využívaným při výrobě MS, aplikacím MS v průmyslu, lékařství a ochraně životního prostředí. Důraz je kladen na zpracování signálů z MS a komunikaci MS s okolím.
Povinná literatura:
Minin, O.: Microsensors. IntechOpen, 2011 ISBN: 978-953-307-170-1
Doporučená literatura:
Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta
Student vypracuje projekt jehož náplň je příbuzná s tématem doktorského studia. Rozsah přibližně 140 hodin.
E-learning
Další požadavky na studenta
Žádné další požadavky na studenta nejsou kladeny
Prerekvizity
Předmět nemá žádné prerekvizity.
Korekvizity
Předmět nemá žádné korekvizity.
Osnova předmětu
Přednášky:
Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech.
Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech.
Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění.
Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin.
Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit.
Inteligentní mikroelektronické senzory.
Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.
Podmínky absolvování předmětu
Výskyt ve studijních plánech
Výskyt ve speciálních blocích
Hodnocení Výuky
Předmět neobsahuje žádné hodnocení.