455-0901/01 – Výroba mikroelektronických prvků (VMP)

Garantující katedraKatedra měřicí a řídicí technikyKredity0
Garant předmětudoc. Ing. Milan Hutyra, CSc.Garant verze předmětudoc. Ing. Milan Hutyra, CSc.
Úroveň studiapostgraduálníPovinnostpovinně volitelný
RočníkSemestrzimní + letní
Jazyk výukyčeština
Rok zavedení1995/1996Rok zrušení2009/2010
Určeno pro fakultyFEIUrčeno pro typy studiadoktorské
Rozsah výuky pro formy studia
Forma studiaZp.zak.Rozsah
prezenční Zápočet a zkouška 2+0
kombinovaná Zápočet a zkouška 2+0

Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi

Cílem předmětu Výroba mikroelektronických prvků je posluchače seznámit se základními technologickými operacemi a postupy využívanými ve výrobě mikroelektronických součástek (integrované obvody, mikroelektronické senzory apod.) Studující PGS si v tomto předmětu rozšíří znalosti v oblasti výroby mikroelektronických prvků .

Vyučovací metody

Anotace

V předmětu Výroba mikroelektronických prvků se posluchači seznámí se základními technologickými operacemi a postupy využívanými ve výrobě mikroelektronických součástek (integrované obvody, mikroelektronické senzory apod.) Předmět je věnován oblastem příprava čistých materiálů pro polovodičový průmysl základní technologické operace používané ve výrobě mikroelektronických součástek (MS)diagnostické metody používané ve výrobě MS technologie struktur bipolárních a unipolárních integrovaných obvodů.

Povinná literatura:

Matějka, Brzobohatý:Technologie mikroelektronických obvodů(skriptum VUT FEI Brno 1984) Matějka, Brzobohatý:Technologie materiálů (skriptum VUT FEI Brno 1984) Musil a kol. :Technologické procesy a jejich modelování(skriptum VUT FEI Brno 1989) Těchnologija SBIS 1a2,Moskva "Mir"1986 (překlad z angličtiny VLSI Technology-edited by S.M.Sze,McGraw-Hill Book Comp.1983) A.S.Grove :Physics and Technology of Semiconductor Devices, John Wiley and Sons Inc. 1967 S.Wolf, R.N.Tauber : Silicon Processing for VLSI Era,vol 1, Lattice Press 1986

Doporučená literatura:

Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta

E-learning

Další požadavky na studenta

Prerekvizity

Předmět nemá žádné prerekvizity.

Korekvizity

Předmět nemá žádné korekvizity.

Osnova předmětu

Přednášky: Vlastnosti a technologie přípravy polovodičových materiálů.Materiály pro výrobu mikroelektronických prvků, dočišťování pro účely použití v polovodičovém průmyslu. Čisté prostory. Základní technologické procesy vytváření struktur MS. Fyzikální a chemické metody přípravy tenkých vrstev.Epitaxní růst. Metody dotování vrstev.Termická difuze.Iontová implantace. Metody tvarování vrstev.Litografické techniky.Chemické metody leptání vrstev.Plasmatické metody leptání vrstev. Montáž systémů do pouzder.Třídicí postupy.Zajišťování spolehlivosti MS.Diagnostické metody ve výrobě MS. Technologie struktur bipolárních a unipolárních IO. Planární technologie, technologie isoplanár, I2L, IMPACT, NMOS, PMOS, CMOS, BiCMOS. Technologie výroby mikroelektronických senzorů.

Podmínky absolvování předmětu

Prezenční forma (platnost od: 1960/1961 letní semestr, platnost do: 2012/2013 letní semestr)
Název úlohyTyp úlohyMax. počet bodů
(akt. za podúlohy)
Min. počet bodůMax. počet pokusů
Zápočet a zkouška Zápočet a zkouška 100 (145) 51 3
        Zkouška Zkouška 100  0 3
        Zápočet Zápočet 45  0 3
Rozsah povinné účasti:

Zobrazit historii

Podmínky absolvování předmětu a účast na cvičeních v rámci ISP:

Zobrazit historii

Výskyt ve studijních plánech

Akademický rokProgramObor/spec.Spec.ZaměřeníFormaJazyk výuky Konz. stř.RočníkZLTyp povinnosti
2009/2010 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2009/2010 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika K čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2008/2009 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2008/2009 (P2612) Elektrotechnika a informatika (2612V015) Elektronika K čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2008/2009 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika K čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2007/2008 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2006/2007 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2005/2006 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2004/2005 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2003/2004 (P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2002/2003 (P2612) Elektrotechnika a informatika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán
2001/2002 (P2612) Elektrotechnika a informatika (2612V015) Elektronika P čeština Ostrava povinně volitelný stu. plán

Výskyt ve speciálních blocích

Název blokuAkademický rokForma studiaJazyk výuky RočníkZLTyp blokuVlastník bloku

Hodnocení Výuky

Předmět neobsahuje žádné hodnocení.