455-0902/01 – Mikroelektronické senzory (MES)

Seznámení s perspektivní skupinou mikroelektronických prvků s širokými možnostmi uplatnění- mikroelektronickými senzory. Posluchači získají znalosti z oblasti konstrukce a aplikace progresívních mikroelektronických součástek,které nacházejí stále širší použití v technické praxi.

Mikroelektronické senzory charakterizujeme jako senzory využívající jevy v polovodičích a vrstvových strukturách zhotovené mikroelektronickými technologiemi.Představují progresivní, ve světě dynamicky se rozvíjející typy senzorů,označované jako senzory 2.generace.Tento druh senzoru je slučitelný s integrovanými obvody jak z hlediska technologického,tak i obvodářského,což umožnuje plně využít možnosti poskytované mikroelektronikou (vyšší spolehlivost,nižší cena při menších rozměrech a hmotnosti,nová obvodová řešení a netradiční aplikace). Předmět je věnován oblastem - principy funkce, vlastnosti a konstrukční řešení mikroelektronických senzorů (MS) - výrobní postupy využívané při výrobě MS. - aplikace MS v průmyslu,lékařství a ochraně životního prostředí literatura Guldan A. : Mikroelektronické senzory, ALFA 1988 Janata J., Huber R.J. :Solid State Sensors,Academic Press,Inc.1985. Middelhoek S., Audet S.: Silicon Sensors,Academic Press,Inc.1989. Senzor technology and Devices,Boston,London, 1994,ISBN 0-89006-532-2 Randy F.:Understanding smart sensors,Boston,London,1996, ISBN 0-89006-824-0