455-0923/01 – Speciální mikroelektronické senzory (SMES)

Garantující katedra	Katedra měřicí a řídicí techniky	Kredity	0
Garant předmětu	prof. Ing. Petr Bilík, Ph.D.	Garant verze předmětu	prof. Ing. Petr Bilík, Ph.D.
Úroveň studia	postgraduální	Povinnost	povinně volitelný
Ročník		Semestr	zimní + letní
		Jazyk výuky	čeština
Rok zavedení	1998/1999	Rok zrušení	2009/2010
Určeno pro fakulty	FEI	Určeno pro typy studia	doktorské

Rozsah výuky pro formy studia
Forma studia	Zp.zak.	Rozsah
prezenční	Zápočet a zkouška	2+0
kombinovaná	Zápočet a zkouška	2+0

Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi

Cílem předmětu je seznámit studenty s bouřlivě rozvíjející se kategorií snímačů neelektrických veličin. Posluchači získají znalosti o konstrukcích a aplikacích progresivních mikroelektronických prvků, které nacházejí stále větší uplatnění v technické praxi.

Vyučovací metody

Individuální konzultace
Projekt

Anotace

Mikroelektronické senzory (MS) charakterizujeme jako senzory využívající jevy v polovodičích a vrstvových strukturách zhotovené mikroelektronickými technologiemi. Představují progresivní, ve světě dynamicky se rozvíjející typy senzorů, označované jako senzory vyšších generací. Tyto druhy senzorů jsou slučitelné s integrovanými obvody jak z hlediska technologického, tak i obvodového, což umožňuje plně využít možnosti poskytované mikroelektronikou (vyšší spolehlivost, nižší cena při menších rozměrech a hmotnosti, nová obvodová řešení a netradiční aplikace). Předmět je věnován oblastem základních principů, vlastnosti a konstrukce MS, výrobním postupům využívaným při výrobě MS, aplikacím MS v průmyslu, lékařství a ochraně životního prostředí. Důraz je kladen na zpracování signálů z MS a komunikaci MS s okolím.

Povinná literatura:

MAY, G.S. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. New York : Willey, 2007. 320 s. ISBN: 978-0-471-23279-7. HUSÁK, M. Mikrosenzory a mikroaktuátory. Praha : Academia, 2008. 544 s. ISBN: 978-80-200-1478-8

Doporučená literatura:

SZE, S.M. Semiconductor Sensors. New York : Willey, 1994. 576 s. ISBN: 978-0-471-54609-2 RANDY F. Understanding smart sensors. Boston, London : Artech House, 1996. 400 s. ISBN 0-89006-824-0 RISTIC, L. Sensor technology and Devices. Boston, London : Artech House, 1994. 524 s. ISBN 0-89006-532-2 GULDAN, A. Mikroelektronické senzory. Bratislava : Alfa, 1987. ZEHNULA, K. Čidla robotů. Praha : SNTL, 1990.

Další studijní materiály

Studijní opory v systému E-výuka

Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta

E-learning

Další požadavky na studenta

Prerekvizity

Předmět nemá žádné prerekvizity.

Korekvizity

Předmět nemá žádné korekvizity.

Osnova předmětu

Přednášky: Senzor jako primární zdroj informace v měřicích a řídicích systémech. Transformace signálů nesoucích informaci v senzorech. Generace senzorů, definice mikroelektronických senzorů. Postavení mikroelektronických senzorů v měřicích a řídicích systémech. Technologické postupy výroby mikroelektronických senzorů. Pojem mikrotechnologie. Chemické a fyzikální metody vytváření tenkých vrstev. Dotační techniky - termická difuze a iontová implantace. Metody tvarování vrstev - litografické techniky, leptání vrstev. Planární technologie. Mikroobrábění. Mikroelektronické senzory. Snímání mechanických veličin, termických veličin, radiačních veličin, magnetických veličin, chemických veličin. Zpracování signálů z mikroelektronických senzorů. Konfigurace systému na zpracování signálů ze senzorů. Kompenzace parazitních vlivů, korekce nelinearit. Inteligentní mikroelektronické senzory. Komunikace mikroelektronických senzorů s okolím. Typy komunikace. Sběrnice.

Podmínky absolvování předmětu

Prezenční forma (platnost od: 1960/1961 letní semestr, platnost do: 2012/2013 letní semestr)

Název úlohy	Typ úlohy	Max. počet bodů (akt. za podúlohy)	Min. počet bodů	Max. počet pokusů
Zápočet a zkouška	Zápočet a zkouška	100 (145)	51	3
Zkouška	Zkouška	100	0	3
Zápočet	Zápočet	45	0	3

Rozsah povinné účasti:

Zobrazit historii

Podmínky absolvování předmětu a účast na cvičeních v rámci ISP:

Zobrazit historii

Výskyt ve studijních plánech

Akademický rok	Program	Obor/spec.	Forma	Jazyk výuky	Konz. stř.	Typ povinnosti
2009/2010	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2009/2010	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	K	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2008/2009	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2008/2009	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	K	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2007/2008	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2006/2007	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2005/2006	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2004/2005	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2003/2004	(P2645) Elektrotechnika, sdělovací a výpočetní technika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2002/2003	(P2612) Elektrotechnika a informatika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán
2001/2002	(P2612) Elektrotechnika a informatika	(2612V045) Technická kybernetika	P	čeština	Ostrava	povinně volitelný	stu. plán

Výskyt ve speciálních blocích

Název bloku	Akademický rok	Forma studia	Jazyk výuky	Ročník	Z	L	Typ bloku	Vlastník bloku

Hodnocení Výuky

Předmět neobsahuje žádné hodnocení.