516-0079/01 – Pokročilé technologie přípravy nanostruktur-principy a aplikace (PTN)

Garantující katedraInstitut fyzikyKredity4
Garant předmětuMgr. Jaroslav Hamrle, Ph.D.Garant verze předmětuMgr. Jaroslav Hamrle, Ph.D.
Úroveň studiapregraduální nebo graduálníPovinnostpovinný
Ročník2Semestrzimní
Jazyk výukyčeština
Rok zavedení2007/2008Rok zrušení2015/2016
Určeno pro fakultyUSPUrčeno pro typy studianavazující magisterské
Výuku zajišťuje
Os. čís.JménoCvičícíPřednášející
HAM0016 Mgr. Jaroslav Hamrle, Ph.D.
JES0009 Ing. Radek Ješko
SYK0048 Mgr. Rudolf Sýkora, Ph.D.
Rozsah výuky pro formy studia
Forma studiaZp.zak.Rozsah
prezenční Zápočet a zkouška 2+1

Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi

Klasifikovat a identifikovat pokročilé technologie v nanostrukturách. Formulovat základní principy přípravy a diagnostiky nanostruktur. Posoudit výhody a nevýhody jednotlivých přístupů. Predikovat nové trendy v aplikacích.

Vyučovací metody

Přednášky
Semináře
Individuální konzultace

Anotace

Předmět podává přehled pokročilých technologií zaměřených na depozici tenkých vrstev a povlaků a přípravu nanostruktur, zejména v podmínkách vakua. Zaměřuje se především na vysvětlení fyzikálních principů těchto procesů a odpovídajících technologických a analytických zařízení a komponent (např. zdrojů svazků elektronů, iontů a neutrálních částic).

Povinná literatura:

BRODIE, I., MURAY, J. J.: The Physics of Micro/Nano-Fabrication, Plenum Press, New York, 1992; VÁLYI, L.: Atom and Ion Sources, John Wiley and Sons Ltd (March 1, 1978); ECKERTOVÁ, L.: Physics of Thin Films, Plenum Press, New York, 1986; FELDMAN, L. C., MAYER, J. W.: Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis, Elsevier Science Publishing Co., Inc., 1986; RIVIERE, J. C.: Surface Analytical Techniques, Clarendon Press, Oxford, 1990.

Doporučená literatura:

BRODIE, I., MURAY, J. J.: The Physics of Micro/Nano-Fabrication, Plenum Press, New York, 1992; VÁLYI, L.: Atom and Ion Sources, John Wiley and Sons Ltd (March 1, 1978); ECKERTOVÁ, L.: Physics of Thin Films, Plenum Press, New York, 1986; FELDMAN, L. C., MAYER, J. W.: Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis, Elsevier Science Publishing Co., Inc., 1986; RIVIERE, J. C.: Surface Analytical Techniques, Clarendon Press, Oxford, 1990.

Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta

E-learning

Další požadavky na studenta

xxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx

Prerekvizity

Předmět nemá žádné prerekvizity.

Korekvizity

Předmět nemá žádné korekvizity.

Osnova předmětu

Obsahové zaměření: - Úvod do fyzikálních technologií. Charakteristika a přehled vybraných fyzikálních technologií. Využití fyzikálních technologií v průmyslu. - Principy fyzikálních technologií, technologických a analytických zařízení. Principy růstu vrstev. Interakce částic s látkou (elektrony, ionty, neutrální částice fotony). Zdroje elektronů, parametry a výpočet zdrojů elektronu. Zdroje iontů, parametry a výpočet zdrojů iontů. Prvky elektronových a iontových optických systémů. Zdroje atomů a molekul, parametry a výpočet zdrojů iontů. Plazma jako zdroj chemicky aktivních částic. Zdroje fotonů, optické systémy. - Fyzikální technologie. Depozice tenkých vrstev a povlaků, tvorba nanostruktur (napařování, MBE, CVD, PECVD, magnetronové a iontové naprašování, přímá iontová depozice, laserová ablace aj.). Legování (difúze, iontová implantace). Litografické metody. Leptání povrchů, tenkých vrstev a povlaků (chemické leptání, plazmatické a iontové leptání). - Analýza povrchů, tenkých vrstev a nanostruktur - přehled. Použití jednotlivých metod (STM, AFM, TEM, SEM AES, RBS, ISS, SIMS, XPS, LEED, RHEED, aj.). Nové trendy v pokročilých materiálových technologiích.

Podmínky absolvování předmětu

Prezenční forma (platnost od: 2015/2016 zimní semestr, platnost do: 2015/2016 letní semestr)
Název úlohyTyp úlohyMax. počet bodů
(akt. za podúlohy)
Min. počet bodů
Zápočet a zkouška Zápočet a zkouška 100 (100) 51
        Zápočet Zápočet 40  20
        Zkouška Zkouška 60  11
Rozsah povinné účasti:

Zobrazit historii

Výskyt ve studijních plánech

Akademický rokProgramObor/spec.Spec.ZaměřeníFormaJazyk výuky Konz. stř.RočníkZLTyp povinnosti
2015/2016 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2014/2015 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2014/2015 (N3942) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2013/2014 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2012/2013 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2011/2012 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2010/2011 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2009/2010 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2008/2009 (N3942) Nanotechnologie (3942T001) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán

Výskyt ve speciálních blocích

Název blokuAkademický rokForma studiaJazyk výuky RočníkZLTyp blokuVlastník bloku