653-2243/01 – Příprava a charakterizace nanostruktur (PCHN)
| Garantující katedra | Katedra materiálového inženýrství a recyklace | Kredity | 5 |
| Garant předmětu | Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D. | Garant verze předmětu | Ing. Zuzana Gelnárová, Ph.D. |
| Úroveň studia | pregraduální nebo graduální | | |
| | Jazyk výuky | čeština |
| Rok zavedení | 2024/2025 | Rok zrušení | |
| Určeno pro fakulty | FMT | Určeno pro typy studia | bakalářské |
Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi
Předmět je zaměřen na rozvoj teoretických a praktických znalostí a dovedností při přípravě tenkých vrstev povlaků a nanostruktur. Zahrnuje principy depozice a přípravy tenkých vrstev metodami chemické a fyzikální depozice a přípravy nanostruktur metodou UV laserové litografie s přímým zápisem, na přípravu materiálů fyzikálními metodami, jejich optické charakterizace a optimalizace parametrů procesu přípravy
Vyučovací metody
Přednášky
Cvičení (v učebně)
Experimentální práce v laboratoři
Výuka odborníka z praxe (přednáška nebo cvičení)
Anotace
Náplní předmětu jsou vakuové systémy, principy přípravy tenkých vrstev magnetronovým naprašováním a depozicí z chemických par. Zabývá se rovněž přípravou nanostruktur pomoci laserové litografie s přímým zápisem.
Povinná literatura:
Doporučená literatura:
MWEMA, Fredrick Madaraka; JEN, Tien-Chien; ZHU, Lin. Thin film coatings: properties, deposition, and applications. CRC Press, 2022.
ABERLE, Armin G. Thin-film solar cells. Thin solid films, 2009, 517.17: 4706-4710.
SESHAN, Krishna; SCHEPIS, Dominic (ed.). Handbook of thin film deposition. William Andrew, 2018.
Další studijní materiály
Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta
Zápočet formou prezentace semestrálního projektu. Zkouška sestává z písemné a ústní části.
E-learning
Další požadavky na studenta
Nejsou žádné další zvláštní požadavky.
Prerekvizity
Předmět nemá žádné prerekvizity.
Korekvizity
Předmět nemá žádné korekvizity.
Osnova předmětu
1. Principy příprav tenkých vrstev a nanostruktur, aplikace
2. Vakuové systémy, top-down a bottom-up příprava nanostruktur
3. Přípravy tenkých vrstev depozicí z fyzikálních par, Thortonův model
4. Křemík a jiné substráty
5. Vakuové napařování
6. Magnetronové naprašování (DC/RF)
7. Reaktivní magnetronové naprašování a MBE
9. Procesy přípravy materiálů depozicí z chemických par (CVD) a odvozené procesy
9.Úvod do optické litografie s přímým zápisem
10. Fotoresisty pro litografické procesy
11. Chemické procesy při expozici fotoresistu při zápisu a při procesu jeho vyvolání vývojkou
12. Litografie binárních struktur
13. Optická a strukturní charakterizace připravených struktur exponovaného fotoresistu
Podmínky absolvování předmětu
Výskyt ve studijních plánech
Výskyt ve speciálních blocích
Hodnocení Výuky
Předmět neobsahuje žádné hodnocení.