9360-0129/01 – Nanotechnologie I - tenké vrstvy (Nano I)
| Garantující katedra | Centrum nanotechnologií | Kredity | 4 |
| Garant předmětu | doc. Dr. Mgr. Kamil Postava | Garant verze předmětu | doc. Dr. Mgr. Kamil Postava |
| Úroveň studia | pregraduální nebo graduální | Povinnost | povinný |
| Ročník | 2 | Semestr | zimní |
| | Jazyk výuky | čeština |
| Rok zavedení | 2019/2020 | Rok zrušení | 2023/2024 |
| Určeno pro fakulty | FMT | Určeno pro typy studia | bakalářské |
Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi
Cílem předmětu je přiblížit problematiku tenkých vrstev jako jedno-dimenzionálních nanostruktur. Předmět se zabývá technologií přípravy a charakterizace tenkých vrstev a popisem jejich optických, elektrických a magnetických vlastností. Důraz je kladen na přehled základních aplikací tenkých vrstev. Studenti budou rovněž seznámeni se základními směry výzkumu na VŠB-TUO v oblasti fyziky tenkých vrstev a nanostruktur a možnostech bakalářských prací v tomto oboru.
Vyučovací metody
Přednášky
Cvičení (v učebně)
Anotace
Cílem předmětu je přiblížit problematiku tenkých vrstev jako jedno-dimenzionálních nanostruktur. Předmět se zabývá technologií přípravy a charakterizace tenkých vrstev a popisem jejich optických, elektrických a magnetických vlastností. Důraz je kladen na přehled základních aplikací tenkých vrstev. Studenti budou rovněž seznámeni se základními směry výzkumu na VŠB-TUO v oblasti fyziky tenkých vrstev a nanostruktur a možnostech bakalářských prací v tomto oboru.
Povinná literatura:
OHRING, M., The material science of thin films, Academic Press, 1992.
MACLEOD, H. A.: Thin-film optical filters, 2nd ed. Bristol, 1986.
YEH, P.: Optical waves in layered media, Willey, New York 1988.
ECKERTOVÁ, L.: Fyzika tenkých vrstev, Populární přednášky o fyzice, sv. 21; KŘEPELKA, J.: Optika tenkých vrstev, UP Olomouc, 1993.
Doporučená literatura:
LUTH, H., Solid surfaces, interfaces and thin films, Springer, Berlin 2001.
AZZAM, R. M. A., BASHARA, N. M.: Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam, 1977.
Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta
Zpracování semestrální práce z vybrané oblasti v rámci problematiky tenkých vrstev a její prezentace. Ústní zkouška.
E-learning
Další požadavky na studenta
Získat přehled o přípravě a fyzikálních vlastnostech tenkých vrstev. V rámci cvičení studenti zpracují a prezentují dílčí problematiku týkající se tenkých vrstev podle vlastního zájmu.
Prerekvizity
Předmět nemá žádné prerekvizity.
Korekvizity
Předmět nemá žádné korekvizity.
Osnova předmětu
Obsahem výuky je:
1. Uvedení tenkých vrstev jako jednodimezionálních nanostruktur
2. Vakuové systémy využívané pro přípravu tenkých vrstev, požadavky na snížený tlak, vakuová technika
3. Fyzikální metody přípravy tenkých vrstev, naprašování, napařování
4. Chemické metody přípravy tenkých vrstev, chemická depozice z par, elektrodepozice
5. Mechanismus růstu tenkých vrstev, růst samoorganizovaných nanostruktur, epitaxní růst
6. Přehled metod charakterizace tloušťky, složení a struktury tenké vrstvy
7. Optika tenkých vrstev, úvod do jevu interference v tenké vrstvě
8. Přehled aplikace optických tenkých vrstev, tenkovrstevné vrstvy, antireflexivní pokrytí, 1D fotonické krystaly
9. Elektrické vlastnosti tenkých vrstev, měření vodivosti
10. Aplikace tenkých vrstev v mikroelektronice, jevy na rozhraních
11. Základní představy o magnetických vlastnostech tenkých vrstev
12. Aplikace magnetických tenkých vrstev, magnetický záznam informace
Podmínky absolvování předmětu
Výskyt ve studijních plánech
Výskyt ve speciálních blocích
Hodnocení Výuky