9360-0159/01 – Praktikum pokročilých technologií přípravy nanostruktur I (PPTPI)

Garantující katedraCentrum nanotechnologiíKredity3
Garant předmětudoc. Dr. Mgr. Kamil PostavaGarant verze předmětudoc. Dr. Mgr. Kamil Postava
Úroveň studiapregraduální nebo graduálníPovinnostpovinný
Ročník2Semestrzimní
Jazyk výukyčeština
Rok zavedení2019/2020Rok zrušení
Určeno pro fakultyFMTUrčeno pro typy studianavazující magisterské
Výuku zajišťuje
Os. čís.JménoCvičícíPřednášející
HAL29 Ing. Lukáš Halagačka, Ph.D.
POS40 doc. Dr. Mgr. Kamil Postava
Rozsah výuky pro formy studia
Forma studiaZp.zak.Rozsah
prezenční Klasifikovaný zápočet 0+3

Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi

xxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxxx

Vyučovací metody

Semináře
Cvičení (v učebně)

Anotace

Cílem praktika pokročilých technologií přípravy nanostruktur je získání praktických dovedností v oblasti depozice tenkých vrstev metodou PVD a procesů laserové litografie. Bude využito výzkumných laboratoří a speciálních studentských technologických laboratoří.

Povinná literatura:

OHRING, M.: Materials Science of Thin Films. 2nd ed. San Diego: Academic Press, 2002. BRODIE, I., MURAY, J. J.: The Physics of Micro/Nano-Fabrication. Plenum Press, New York, 1992; VÁLYI, L.: Atom and Ion Sources. John Wiley and Sons Ltd (March 1, 1978); MACK, C. A.: Field guide to optical lithography, SPIE Press 2006.

Doporučená literatura:

LIN, B. J.: Optical Lithography, SPIE Press 2010. ECKERTOVÁ, L.: Physics of Thin Films. Plenum Press, New York, 1986 FELDMAN, L. C., MAYER, J. W.: Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis. Elsevier Science Publishing Co., Inc., 1986

Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta

Hodnocení prezentace výsledků přípravy struktur. Kontrola a konzultace zpracování zprávy o přípravě vzorků.

E-learning

Další požadavky na studenta

Příprava tenkých vrstev a mikrostruktur, práce v čistých prostorách.

Prerekvizity

Předmět nemá žádné prerekvizity.

Korekvizity

Předmět nemá žádné korekvizity.

Osnova předmětu

Laboratorní cvičení zahrnuje přípravu vrstev kovů, polovodičů a dielektrik a zvládnutí litografického procesu. Je založeno na následujících dílčích celcích: 1. Příprava tenkých vrstev metodou PVD – zvládnutí procesu kontroly depozice magnetronovým naprašováním a evaporací, práce s vákuovým systémem, počítačového řízení procesu 2. Litografický proces zahrnující příprava fotorezistu metodou spin coating, zadání a expozice struktury pomocí laserového litografu, vyvolání a finalizace litografického procesu 3. Kontrola připravovaných struktur ex-situ metodami – elipsometrie, spektroskopie, optická mikroskopie, AFM, elektronová mikroskopie

Podmínky absolvování předmětu

Prezenční forma (platnost od: 2019/2020 zimní semestr)
Název úlohyTyp úlohyMax. počet bodů
(akt. za podúlohy)
Min. počet bodůMax. počet pokusů
Klasifikovaný zápočet Klasifikovaný zápočet 100  51 3
Rozsah povinné účasti: Odevzdání protokolu za jednotlivá cvičení v určených termínech.

Zobrazit historii

Podmínky absolvování předmětu a účast na cvičeních v rámci ISP:

Zobrazit historii

Výskyt ve studijních plánech

Akademický rokProgramObor/spec.Spec.ZaměřeníFormaJazyk výuky Konz. stř.RočníkZLTyp povinnosti
2023/2024 (N0719A270002) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2022/2023 (N0719A270002) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2021/2022 (N0719A270002) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2020/2021 (N0719A270002) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán
2019/2020 (N0719A270002) Nanotechnologie P čeština Ostrava 2 povinný stu. plán

Výskyt ve speciálních blocích

Název blokuAkademický rokForma studiaJazyk výuky RočníkZLTyp blokuVlastník bloku

Hodnocení Výuky



2023/2024 zimní