9360-0500/02 – Tenké vrstvy (TV)

Garantující katedraCentrum nanotechnologiíKredity4
Garant předmětudoc. Dr. Mgr. Kamil PostavaGarant verze předmětudoc. Dr. Mgr. Kamil Postava
Úroveň studiapregraduální nebo graduálníPovinnostpovinně volitelný
Ročník3Semestrzimní
Jazyk výukyangličtina
Rok zavedení2018/2019Rok zrušení
Určeno pro fakultyUSP, HGFUrčeno pro typy studiabakalářské
Výuku zajišťuje
Os. čís.JménoCvičícíPřednášející
POS40 doc. Dr. Mgr. Kamil Postava
Rozsah výuky pro formy studia
Forma studiaZp.zak.Rozsah
prezenční Zápočet a zkouška 2+2

Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi

Vysvětlit vlastnosti tenkých vrstev (optické, elektrické a magnetické vlastnosti) Analyzovat aplikační výstupy (např. antireflexní vrstvy, tenké vrstvy, atd.)

Vyučovací metody

Přednášky
Cvičení (v učebně)

Anotace

Předmět se zabývá fyzikálními vlastnostmi a aplikacemi tenkých vrstev. Pozornost je zaměřena na optické, elektrické a magnetické vlastnosti tenkých vrstev. Důraz je kladen na aplikační výstupy, např. antireflexní vrstvy, tenkovrstvé interferenční filtry, vrstvy využívané v polovodičovém průmyslu a informačních technologiích.

Povinná literatura:

OHRING, M., The material science of thin films, Academic Press, 1992. MACLEOD, H. A.: Thin-film optical filters, 2nd ed. Bristol, 1986; YEH, P.: Optical waves in layered media, Willey, New York 1988; ECKERTOVÁ, L.: Fyzika tenkých vrstev, Populární přednášky o fyzice, sv. 21; KŘEPELKA, J.: Optika tenkých vrstev, UP Olomouc, 1993;

Doporučená literatura:

LUTH, H., Solid surfaces, interfaces and thin films, Springer, Berlin 2001. AZZAM, R. M. A., BASHARA, N. M.: Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam, 1977;

Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta

E-learning

Další požadavky na studenta

Systematická domácí příprava.

Prerekvizity

Předmět nemá žádné prerekvizity.

Korekvizity

Předmět nemá žádné korekvizity.

Osnova předmětu

Obsahové zaměření: - Úvod do metod přípravy tenkých vrstev a jejich charakterizace. - Optika tenkých vrstev - elektromagnetická teorie šíření světla v tenkých a tlustých vrstvách, jevy na rozhraní, maticový popis isotropních a anizotropních vrstevnatých systémů. - Optické multivrstvé filtry - antireflexní systémy, pásmové propustě, tenkovrstvé děliče svazků, úzkopásmové Fabry-Perotovy filtry. - Elektrické vlastnosti tenkých vrstev - vodivost tenkých vrstev, transportní jevy, tenké vrstvy polovodičů a dielektrik, přechody polovodičů a polovodiče a kovu. - Aplikace tenkých vrstev v polovodičovém průmyslu a v technologiích s ultravysokou integrací, měření elektrických parametrů tenkých vrstev. - Magnetické vlastnosti tenkých vrstev - feromagnetické tenké vrstvy, magnetická anizotropie, aplikace v magnetickém záznamu a senzorech.

Podmínky absolvování předmětu

Podmínky absolvování jsou definovány pouze pro konkrétní verzi předmětu a formu studia

Výskyt ve studijních plánech

Akademický rokProgramObor/spec.Spec.FormaJazyk výuky Konz. stř.RočníkZLTyp povinnosti
2019/2020 (B3942) Nanotechnologie (3942R001) Nanotechnologie P angličtina Ostrava 3 povinně volitelný stu. plán
2018/2019 (B3942) Nanotechnologie (3942R001) Nanotechnologie P angličtina Ostrava 3 povinně volitelný stu. plán

Výskyt ve speciálních blocích

Název blokuAkademický rokForma studiaJazyk výuky RočníkZLTyp blokuVlastník bloku