9360-0500/02 – Tenké vrstvy (TV)
| Garantující katedra | Centrum nanotechnologií | Kredity | 4 |
| Garant předmětu | doc. Dr. Mgr. Kamil Postava | Garant verze předmětu | doc. Dr. Mgr. Kamil Postava |
| Úroveň studia | pregraduální nebo graduální | Povinnost | povinně volitelný |
| Ročník | 3 | Semestr | zimní |
| | Jazyk výuky | angličtina |
| Rok zavedení | 2018/2019 | Rok zrušení | |
| Určeno pro fakulty | USP, HGF | Určeno pro typy studia | bakalářské |
Cíle předmětu vyjádřené dosaženými dovednostmi a kompetencemi
Vysvětlit vlastnosti tenkých vrstev (optické, elektrické a magnetické vlastnosti)
Analyzovat aplikační výstupy (např. antireflexní vrstvy, tenké vrstvy, atd.)
Vyučovací metody
Přednášky
Cvičení (v učebně)
Anotace
Předmět se zabývá fyzikálními vlastnostmi a aplikacemi tenkých vrstev. Pozornost je zaměřena na optické, elektrické a magnetické vlastnosti tenkých vrstev. Důraz je kladen na aplikační výstupy, např. antireflexní vrstvy, tenkovrstvé interferenční filtry, vrstvy využívané v polovodičovém průmyslu a informačních technologiích.
Povinná literatura:
OHRING, M., The material science of thin films, Academic Press, 1992.
MACLEOD, H. A.: Thin-film optical filters, 2nd ed. Bristol, 1986;
YEH, P.: Optical waves in layered media, Willey, New York 1988;
ECKERTOVÁ, L.: Fyzika tenkých vrstev, Populární přednášky o fyzice, sv. 21; KŘEPELKA, J.: Optika tenkých vrstev, UP Olomouc, 1993;
Doporučená literatura:
LUTH, H., Solid surfaces, interfaces and thin films, Springer, Berlin 2001.
AZZAM, R. M. A., BASHARA, N. M.: Ellipsometry and polarized light, North-Holland, Amsterdam, 1977;
Forma způsobu ověření studijních výsledků a další požadavky na studenta
E-learning
Další požadavky na studenta
Systematická domácí příprava.
Prerekvizity
Předmět nemá žádné prerekvizity.
Korekvizity
Předmět nemá žádné korekvizity.
Osnova předmětu
Obsahové zaměření:
- Úvod do metod přípravy tenkých vrstev a jejich charakterizace.
- Optika tenkých vrstev - elektromagnetická teorie šíření světla v tenkých a tlustých
vrstvách, jevy na rozhraní, maticový popis isotropních a anizotropních vrstevnatých systémů.
- Optické multivrstvé filtry - antireflexní systémy, pásmové propustě,
tenkovrstvé děliče svazků, úzkopásmové Fabry-Perotovy filtry.
- Elektrické vlastnosti tenkých vrstev - vodivost tenkých vrstev, transportní
jevy, tenké vrstvy polovodičů a dielektrik, přechody polovodičů a polovodiče a kovu.
- Aplikace tenkých vrstev v polovodičovém průmyslu a v technologiích
s ultravysokou integrací, měření elektrických parametrů tenkých vrstev.
- Magnetické vlastnosti tenkých vrstev - feromagnetické tenké vrstvy,
magnetická anizotropie, aplikace v magnetickém záznamu a senzorech.
Podmínky absolvování předmětu
Podmínky absolvování jsou definovány pouze pro konkrétní verzi předmětu a formu studia
Výskyt ve studijních plánech
Výskyt ve speciálních blocích
Hodnocení Výuky
Předmět neobsahuje žádné hodnocení.